更新日:2018.11.08
日刊工業新聞(平成30年10月31日(水)付 第2部:JIMTOF2018特集)に、本学大学院工学研究院 機械知能工学研究系 田丸雄摩助教が執筆した「位置決め技術の高精度化に対する現状と課題」の記事が掲載されました。
微細加工技術の進展に伴って位置決めの高精度化が要求されています。記事では、田丸助教が取り組んでいる摩擦を排除した位置決め機構の開発を紹介し、位置決め技術の現状と課題について考察しています。
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電磁吸引力を利用した可撓支持微動テーブル
スクイーズ効果を利用した浮上力支持微動テーブル
